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實驗室凈化工程的溫濕度控制
隨著工業(yè)生產(chǎn)的發(fā)展,實驗室凈化工程的需求越來越多。除了滿足實驗室的溫濕度要求外,對室內(nèi)的微粒子含量、氣流、壓力等也控制在一定范圍內(nèi)。
1.溫度控制:實驗室凈化工程的具體控制方案為:實驗室凈化內(nèi)的回風夾道處安裝冷水盤管,實驗室凈化下架層的格構(gòu)梁上安裝有溫度傳感器,對應區(qū)域回風夾道處冷水盤管的中溫冷凍水管道上安裝有電動調(diào)節(jié)閥,每個區(qū)域的溫度與此電調(diào)節(jié)閥構(gòu)成閉環(huán)控制,用控制盤管內(nèi)中溫水流量來控制對應區(qū)域的溫度,此PID加適當微分,用以克服溫度傳感器的滯后性。
2.濕度控制:實驗室凈化溫度控制穩(wěn)定后,濕度過高容易結(jié)露,過低則容易產(chǎn)生靜電,都會影響液晶面板的良率,因此55%±5%的相對濕度是控制的一個目標。但對于如此大型的潔凈廠房直接加濕和除shi是不現(xiàn)實的,于是采用非潔凈區(qū)的新風機組通過不停補新風的置換來控制。
3.電氣、儀表設(shè)計,溫濕度傳感器:每個分廠實驗室凈化面積大概在3萬多m2,平均每500m2范圍內(nèi)安裝一溫濕度一體的傳感器,用以直接監(jiān)視實驗室凈化內(nèi)溫濕度。溫度傳感器:安裝于潔凈間下夾層格構(gòu)梁上,PID設(shè)定值23℃,可以確保氣流經(jīng)生產(chǎn)區(qū)直接吹下來的溫度穩(wěn)定在23℃。
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